摘要：本文利用ARL Perform’X X射线荧光光谱仪，对钒钛系列脱硝催化剂的元素组成进行了各方面分析，考察了分析结果的准确度和精密度，实验表明X射线荧光光谱法（XRF）完全能够胜任脱硝工艺中对催化剂组分进行监控的需求，可以为实际生产和脱硝工艺的优化提供支持。